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藍寶石拋光液是不是二氧化硅拋光液

文章出處:責任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2023-02-06 16:10【

藍寶石拋光液是不是二氧化硅拋光液?

藍寶石拋光液是以高純度硅粉為原料,經特殊工藝制備成的一種低金屬離子CMP拋光液,是一種高純度的氧化硅拋光液,廣泛應用于多種材料的納米級高平坦化拋光,是Wafer減薄拋光液拋光漿料slurry。

吉致電子生產的藍寶石拋光液主要用于藍寶石襯底研磨減薄,藍寶石A向拋光液,藍寶石C向拋光液等。拋光范圍如:硅片、鍺片、化合物晶體磷化銦、砷化鎵、精密光學器件、寶石飾品、金屬鏡面等研磨拋光加工。

吉致電子藍寶石拋光液 藍寶石襯底研磨減薄

藍寶石拋光液Sapphire Slurry的特點:

1.高純度(Cu含量小于50 ppb),有效減少對電子類產品的污染。

2.高拋光速率,利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達到高速拋光的目的。

3.高平坦度加工,藍寶石CMP拋光液是利用SiO2的膠體粒子進行拋光,不會對加工件造成物理損傷,達到高平坦化加工。

藍寶石拋光液根據pH值的不同可分為酸性拋光液和堿性拋光液,吉致電子研發(fā)工程師可根據客戶具體需求定制配液,達到理想拋光效果。

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