您好，拋光墊溝槽的寬度有一個(gè)合理的值，如果拋光墊上開的溝槽寬度過小，不能有效改善拋光液的輸送和儲存，對拋光效率提高很??；如果拋光墊上開的溝槽寬度過大，拋光效率反而減小，拋光后襯底片表面粗糙度也會變大。