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[吉致動態(tài)]金屬鉬片的CMP拋光工藝[ 2023-12-13 17:09 ]
  工廠的鉬片加工工藝采用粗磨、雙端面立磨等研磨工藝,粗磨的合格率僅在85%左右,整體平行度不良居多,造成產品合格率下降,也造成后續(xù)加工難度,這與金屬鉬的特性有關,目前鉬片采用CMP拋光工藝(拋光液+拋光墊)能達到鏡面效果。  鉬的特點:鉬是一種難溶金屬,具有很多優(yōu)良的物力化學和機械性能。由于原子間結合力極強,所以在常溫和高溫下強度均非常高。它的膨脹系數(shù)低,導電率大,導熱性好。在常溫下不與鹽酸、氫氟酸及堿溶液反應,僅溶于硝酸、王水或濃硫酸之中,對大多數(shù)液態(tài)金屬、非金屬熔渣和熔融玻璃亦相當穩(wěn)定。&
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