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[常見(jiàn)問(wèn)題]CMP化學(xué)機(jī)械拋光在半導(dǎo)體領(lǐng)域的重要作用[ 2023-12-21 11:53 ]

化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是半導(dǎo)體晶圓制造的關(guān)鍵步驟，這項(xiàng)工藝能有效減少和降低晶圓表面的不平整，達(dá)到半導(dǎo)體加工所需的高精度平面要求。拋光液(slurry)、拋光墊(pad)是CMP技術(shù)的關(guān)鍵耗材，分別占CMP耗材49%和33%的價(jià)值量，CMP耗材品質(zhì)直接影響拋光效果，對(duì)提高晶圓制造質(zhì)量至關(guān)重要。 CMP拋光液/墊技術(shù)壁壘較高，高品質(zhì)的拋光液需要綜合控制磨料硬度、粒徑、形狀、各成分質(zhì)量濃度等要素。拋光墊則更加看重低缺陷率和長(zhǎng)使用壽命。配置多功能,高效率的拋光液是提升CMP效果的重要環(huán)節(jié)。&nbs

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[應(yīng)用案例]吉致電子--CMP不銹鋼表面快速拋光[ 2023-12-18 17:58 ]

不銹鋼獲取高質(zhì)量的鏡面的傳統(tǒng)工藝主要采用的拋光技術(shù):電解拋光、化學(xué)拋光和機(jī)械拋光。隨著對(duì)鏡面不銹鋼表面質(zhì)量要求的不斷提高，同時(shí)為了提高拋光效率，新型不銹鋼拋光工藝----CMP化學(xué)機(jī)械拋光被廣泛應(yīng)用。吉致電子針對(duì)不銹鋼表面鏡面處理，配制組成的CMP拋光液，通過(guò)化學(xué)溶液提高不銹鋼表面活性，同時(shí)進(jìn)行高速的機(jī)械拋光，用來(lái)消除表面凹凸而獲得更高質(zhì)量的光潔鏡面。CMP化學(xué)機(jī)械拋光對(duì)環(huán)境污染最小，不銹鋼鏡面拋光質(zhì)量最好，快速有效降低原始工件表面粗糙度，經(jīng)過(guò)粗拋和精拋工藝能達(dá)到鏡面效果，無(wú)劃傷、無(wú)凹坑、無(wú)麻點(diǎn)橘皮。根據(jù)金屬的種

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[應(yīng)用案例]硬質(zhì)合金拋光液--鏡面拋光鎢鋼刀片[ 2023-04-14 15:01 ]

硬質(zhì)合金刀片具有硬度高、韌性較好、耐熱、耐腐蝕等一系列優(yōu)良性能，特別是它的高硬度和耐磨性，在1000℃時(shí)仍保持較高的硬度。硬質(zhì)合金鎢鋼工件對(duì)于很多拋光工藝來(lái)說(shuō)屬于比較難加工的一種材質(zhì)。鎢鋼刀片拋光目前可通過(guò)CMP化學(xué)機(jī)械拋光工藝，搭配金屬專用拋光液達(dá)到理想的表面光潔度。硬質(zhì)合金刀片又叫鎢鋼刀片，原始件表面有銹斑、劃痕和麻點(diǎn)等不良現(xiàn)象，要解決這些問(wèn)題需通過(guò)平面研磨機(jī)配合吉致電子硬質(zhì)合金研磨液、研磨墊、研磨盤等達(dá)到鏡面效果。硬質(zhì)合金的CMP機(jī)械化學(xué)鏡面拋光，經(jīng)過(guò)粗拋

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[常見(jiàn)問(wèn)題]吉致電子拋光液--CMP拋光工藝在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用[ 2023-02-09 13:14 ]

CMP化學(xué)機(jī)械拋光應(yīng)用于各種集成電路及半導(dǎo)體行業(yè)等減薄與平坦化拋光，吉致電子拋光液在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用，主要為STI CMP、Oxide CMP、ILD CMP、IMD CMP提供拋光漿料與耗材。 CMP一般包括三道拋光工序，包括CMP拋光液、拋光墊、拋光蠟、陶瓷片等。拋光研磨工序根據(jù)工件參數(shù)要求，需要調(diào)整不同的拋光壓力、拋光液組分、pH值、拋光墊材質(zhì)、結(jié)構(gòu)及硬度等。CMP拋光液和CMP拋光墊是CMP工藝的核心要素，直接影響工件表面的拋光質(zhì)量。在半導(dǎo)體行業(yè)CMP環(huán)節(jié)之中，也存在

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[應(yīng)用案例]鋁合金拋光液--鋁質(zhì)工件鏡面拋光[ 2022-12-29 10:44 ]

鋁合金地較軟，硬度低，因此在加工成型過(guò)程中極易產(chǎn)生機(jī)械損傷造成劃痕、磨損等表面缺陷，同時(shí)易發(fā)生腐蝕，表面的化學(xué)穩(wěn)定性差。為了消除加工過(guò)程中的缺陷,通常采用CMP化學(xué)機(jī)械拋光方法，以期獲得良好的表面光潔度。隨著高新技術(shù)的發(fā)展，吉致電子鋁合金拋光液已經(jīng)有成熟的技術(shù)支持，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)CMP拋磨材料極高精度、近乎無(wú)缺陷的超精密平面化加工。CMP可以真正使鋁合金襯底實(shí)現(xiàn)全局平面化，得到近似完美的表面和極低的表面粗超度，且大大提高了生產(chǎn)率，降低了生產(chǎn)成本。鋁合金工件加工的表面均勻一致性好、近乎無(wú)表面損

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[應(yīng)用案例]玉石拋光液---玉石表盤的CMP拋光工藝[ 2022-11-15 14:12 ]

一款玉石制成的腕表，優(yōu)雅大氣，彰顯如玉的君子氣質(zhì)。和田玉表盤的去粗及拋磨拋亮，是可以通過(guò)CMP化學(xué)機(jī)械拋光工藝來(lái)實(shí)現(xiàn)。玉石表面亮度還受兩個(gè)因素的影響：一是玉料的材質(zhì)，二是玉料的結(jié)構(gòu)，雖然大多數(shù)玉料都是晶體結(jié)構(gòu)，但晶體的粒度和分布狀況不同，呈纖維狀的玉料易于拋光，呈粒狀纖維的玉料不容易拋光。通過(guò)吉致電子玉石拋光液與拋光墊的組合拋磨，去除毛坯料表面凹凸不平劃痕，還原玉石本真的光澤，拋光后表盤工件看起來(lái)綿密細(xì)膩、油脂感足。通過(guò)CMP拋光玉石的優(yōu)點(diǎn)是可以快速減薄尺寸，拋光效率快、亮

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[行業(yè)資訊]碳化硅襯底CMP拋磨工藝流程[ 2022-10-26 14:32 ]

碳化硅襯底CMP化學(xué)機(jī)械拋光工藝需要用到吉致電子CMP拋光液和拋光墊，拋磨工藝一般分為3道流程：雙面拋磨、粗拋、精拋。下面來(lái)看看吉致電子小編碳化硅晶圓拋光工藝介紹和拋光產(chǎn)品推薦吧。碳化硅襯底雙面研磨：一般使用雙面鑄鐵盤配合吉致電子金剛石研磨液或者碳化硅晶圓研磨液進(jìn)行加工；主要目的是去除線切損傷層以及改善晶片的平坦度。碳化硅襯底粗拋工藝：針對(duì)碳化硅襯底加工采用專門的碳化硅晶圓拋光液配合粗拋墊。既可以達(dá)到傳統(tǒng)工藝中較高的的拋光速率（與精磨基本相當(dāng)）又可以達(dá)到傳統(tǒng)工藝中粗拋后的表面光潔度。碳化硅襯底精拋工藝：SIC晶圓精

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[行業(yè)資訊]吉致資訊第151期：生活中離不開的“濾波器”[ 2021-08-21 08:52 ]

吉致資訊第151期：生活中離不開的“濾波器” 我們生活中離不開一樣潛在的東西，那就是濾波器，我們不管是wifi、藍(lán)牙、手機(jī)的2g/3g/4g/5g等的信號(hào)發(fā)射和接受都需要濾波器，一臺(tái)小小的手機(jī)就需要數(shù)十個(gè)濾波器的元器件，而濾波器的主要性能就是性能，而平坦度直接影響其性能，所以在生產(chǎn)濾波器的過(guò)程中會(huì)進(jìn)行CMP化學(xué)機(jī)械拋光，其需要用到拋光液slurry，目前這一耗材長(zhǎng)期受國(guó)外“卡脖子”，國(guó)外企業(yè)說(shuō)斷供就斷供，而目前國(guó)內(nèi)無(wú)錫吉致電子科技有限公司聘請(qǐng)國(guó)外留學(xué)歸來(lái)博士

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25年專注CMP拋光材料研發(fā)與生產(chǎn)

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