- [吉致動態(tài)]鈮酸鋰晶體怎么拋光？[ 2024-03-08 11:16 ]
- 鈮酸鋰晶體拋光，用吉致電子CMP鈮酸鋰拋光液是有效方法 鈮酸鋰晶體(分子式 LiNbO3簡稱 LN)是一種具有鐵電、壓電、熱電、電光、聲電和光折變效應等多種性質(zhì)的功能材料，是目前公認為光電子時代"光學硅"的主要候選材料之一。它在超聲器件、光開關、光通訊調(diào)制器、二次諧波發(fā)生和光參量振蕩器等方面獲得廣泛應用。 鈮酸鋰晶片的加工質(zhì)量和精度直接影響其器件的性能，因此鈮酸鋰的應用要求晶片表面超光滑、無缺陷、無變質(zhì)層。目前,有關鈮酸鋰晶片的加工特性及其超光滑表面加工技術的研
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