- [吉致動態(tài)]吉致電子淺槽隔離拋光液怎么用[ 2022-10-31 16:47 ]
- 吉致電子淺槽隔離拋光液適用范圍:單晶硅、多晶硅的研磨拋光,存儲器制程和背照式傳感器(BSI)制程等。 STI Slurry 適用于集成電路當中的銅互連工藝制程中銅的去除和平坦化。具有高的銅去除速率,碟型凹陷可調(diào),低缺陷等特性??蓱糜谶壿嬓酒约?D NAND和DRAM芯片等量產(chǎn)使用。清除集成電路中銅拋光后表面的拋光顆粒和化學物殘留,以防銅表面腐蝕,降低表面缺陷。 可定制選擇穩(wěn)定的選擇比,去除速率,對氧化物/氮化物的選擇比。硅精拋液系列具有低缺陷的優(yōu)點。BS
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