- [常見(jiàn)問(wèn)題]半導(dǎo)體拋光液是什么？[ 2022-09-15 15:51 ]
- 半導(dǎo)體拋光液是什么？簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)拋光液是通過(guò)化學(xué)機(jī)械反應(yīng)，去除半導(dǎo)體工件表面的氧化層，達(dá)到光潔度和高平坦要求的化學(xué)液體。 半導(dǎo)體CMP拋光液是超細(xì)固體研磨材料和化學(xué)添加劑的混合物，制備成均勻分散的懸浮液，起到研磨、潤(rùn)滑和腐蝕溶解等作用，主要原料包括研磨顆粒、PH調(diào)節(jié)劑、氧化劑和分散劑等。拋光液的分類(lèi)：根據(jù)酸堿性可以分為：酸性?huà)伖庖汉蛪A性?huà)伖庖?、中性?huà)伖庖骸８鶕?jù)拋磨材質(zhì)可以分為：金屬拋光液和非金屬拋光液。根據(jù)拋光對(duì)象不同，拋光液可分為銅拋光液、鎢拋光液、硅拋光液和鈷拋光液等。其中，銅拋光液和鎢拋
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